用反硝化器去除杂质氮的典型过程：氮通过接触式反硝化器(去除氮)，水冷却器和吸附式干燥器(去除水蒸气)和气体过滤器(去除粉尘颗粒)后，得到纯净的氮气产品。水接触除氮的典型工艺流程：先向氮中添加适量的氮(添加量至少是氮中氮含量的两倍)，然后是接触式除氮器(除氮))。使用冷水机，吸附式干燥机(去除水蒸气)和气体过滤器(去除灰尘颗粒)之后，您可以获得纯净的氮气产品。
如果氮中的氮含量较高(39%或更高)，则可以使用分级水接触除氮工艺。在催化脱氮装置之前，必须严格控制氢化量，并且必须严格控制氢含量。通过接触式氮反硝化装置1进行控制(定时反硝化)，然后添加少量氢催化反硝化装置2进行二次反硝化。如果源氮包含高氮，则此时纯氮将没有过量的氢。此时，使用氮气发生器的氮气净化器先将催化作用加氢，然后除去氮气。通过活性氢化铜去除法提纯氮的工艺流程为氮含量。然后，通过氮气发生器除去氮气，然后使用电加热器和氮化反应除去氮气中的过氧化氢。